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熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用
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1。在硅片上涂覆光刻膠{+*/}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器�！ �3，掩碼對齊 由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風(fēng)循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對齊在晶片上�！ �4，在硅片上光敏膠的掩模上曝光 高壓汞燈G線(436 Nm)或我們吳行(波長365 nm)輻照，光刻膠的光刻膠與掩模圖形的光敏圖案相同！ 5，將硅片浸沒在特定顯影液中，溶解外露的部分，再將圖像復(fù)制到光刻膠上，顯影劑對顯影劑進(jìn)行顯影，烘干，使殘留的有機(jī)溶液光刻膠完全蒸發(fā)，形成的顯影劑。 閃蒸干燥系統(tǒng)是根據(jù)物料和產(chǎn)品特性、可用或允許的熱源以及操作安全性要求而設(shè)計(jì)的。這樣的系統(tǒng)可以設(shè)計(jì)成閉路循環(huán)，適合于有機(jī)溶劑而不是水的蒸發(fā)。干燥氣體為惰性氣體（通常為氮?dú)猓�，然后將在閃蒸干燥機(jī)中蒸發(fā)的溶劑冷凝。旋轉(zhuǎn)閃蒸干燥機(jī)具有優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品組合，可充分利用工業(yè)工藝流程： 物料經(jīng)裝盤后，連盤帶車進(jìn)入隧道烘箱的進(jìn)口處，由傳動機(jī)構(gòu)將其帶入隧道內(nèi)， 烘車運(yùn)行速度可調(diào)；冷風(fēng)從新風(fēng)補(bǔ)充口進(jìn)入離心風(fēng)機(jī)，經(jīng)翅片式換熱器加熱后， 送入隧道箱內(nèi)與濕物料充分接觸，進(jìn)行熱量交換，物料內(nèi)的水分被蒸發(fā)為水蒸汽 ，與熱空氣一道進(jìn)入箱體側(cè)面的風(fēng)道內(nèi)，一部分濕空氣由排濕口排空，另一部分烘箱是我們生活中，和工業(yè)中經(jīng)常用到的機(jī)械設(shè)備之一，高溫烘箱用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀器、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊、塑膠、機(jī)械、化工、食品、五金工具在恒溫環(huán)境條件下作干燥和各種 旋轉(zhuǎn)式干燥機(jī)的工作特點(diǎn)及結(jié)構(gòu)原理
自干燥設(shè)備發(fā)明使用以來，其以越來越多的應(yīng)用到我們的生產(chǎn)生活中來，它的出現(xiàn)不僅減輕了我們的勞動負(fù)擔(dān)，還幫我們生產(chǎn)出了很多生活中的必需品，比如一些食品，藥品，以及工業(yè)方面都在使用干燥設(shè)備。真空耙式干燥機(jī)它的干燥溫度低、干燥速率大、節(jié)能、設(shè)備密閉性好、溶劑易回收，特別適用于不耐高溫、在高溫下易氧化或干燥時容易產(chǎn)生粉末的物料（如各種染料），以及需要回收溶劑或物料中含有毒氣體等干燥作業(yè)，并具有保質(zhì)及不破壞物料固有性能的優(yōu)點(diǎn)，在石油化工、食品醫(yī)藥、染料等行業(yè)
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